型镜头，让这些微型镜头同时参与工作，完成集成电路的影刻。” 张昱明摇着头，见陈今听得一脸认真，不得不继续道：“芯片内部的结构并不是非常复杂，每个de都是一样的构造，每个晶体管也是相同的，一万个微型镜头，同步完成一样的工作，可大大加快分辨光刻的效率。” “甚至如果能做出这样的光刻镜头，我们可以在一台分辨光刻设备内，集成十组、一百组光刻镜头，在直径过1oo英寸的晶圆上进行光刻，1o万、1oo万个的微型镜头同时工作，整体光刻效率，甚至远远过传
如需阅读完整内容，请在手机端进行阅读。
请勿开启浏览器阅读模式，否则将导致章节内容缺失及无法阅读下一章。