光机所的双工机台，没问题，可以用，现在工程师已经把光学套件从机场运到所里来了，测量后，现套件尺寸略大，我们正在对原有机台进行改装，估计明后天就要试着出片，一把点亮的概率很大。” “干得漂亮！”吴东明情激动脱口而出，“真要是能一把点亮，我亲自去长春，请你喝酒！” 高原笑着说道：“您别激动啊，点亮很容易，激光源经过一系列调整，输出到浸没刻蚀平台，就算点亮了，但这只是第一步，要把十二寸晶圆曝光出来，并且进行电气封装，才能算真正的成功。” “我
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